高アスペクトHDIマイクロビア形成 DK100
高アスペクト比HDIマイクロビアにおけるシード層形成に特化したインクジェット印刷装置。DeepVia™ HDIソリューションの中核構成要素として、深いビア構造内部への材料供給を通じて、難易度の高い構造においても信頼性の高い導通形成を実現します。
特長
- 高精度なインクジェット制御により、高アスペクト比マイクロビアへの精確な液滴吐出を実現
- 当社独自の自発濡れインクとの高い適合性により、ビア内面全体への均一なシード層形成を実現
- ビア深部への直接的なインク供給により、従来の溶液プロセスにおける材料供給の制約を克服
仕様
| モデル | DK100 |
|---|---|
| 最大基材サイズ | 550 x 622 mm |
| ステージ速度 | 267 mm/sec |
| ステージ精度 | Accuracy ±20 μm, Precision ±5 μm |
| ヘッドタイプ | セイコーエプソン PrecisionCore D3000-U1R |
| インク種類 | エレファンテック社製銅ナノインクNCT-05 |
応用事例
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HDIマイクロビア形成